Исследование структуры, элементного состава и свойств нового класса нанокристаллических покрытий на основе легированного примесями нитрида титана, нанесенных методом контролируемого магнетронного распыления
Загрузка...
Дата
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
структура покрытий
контролируемое нанесение
примеси нитрида титана
методы нанесения
магнетронное нанесение
нанокристаллические покрытия
элементный состав
нанесение покрытий
покрытия нового класса
свойства покрытий
состав покрытий
легирование примесями
контролируемое нанесение
примеси нитрида титана
методы нанесения
магнетронное нанесение
нанокристаллические покрытия
элементный состав
нанесение покрытий
покрытия нового класса
свойства покрытий
состав покрытий
легирование примесями
Ключевые слова
Цитирование
Исследование структуры, элементного состава и свойств нового класса нанокристаллических покрытий на основе легированного примесями нитрида титана, нанесенных методом контролируемого магнетронного распыления / А. П. Бурмаков [и др.] // Международный симпозиум "Перспективные материалы и технологии" : сборник статей, Витебск, 24-26 мая 2011 г. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2011. - С. 164-167.