Исследование структуры, элементного состава и свойств нового класса нанокристаллических покрытий на основе легированного примесями нитрида титана, нанесенных методом контролируемого магнетронного распыления
| dc.contributor.author | Бурмаков. А. П. | |
| dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | |
| dc.contributor.author | Пилько, В. В. | |
| dc.contributor.author | Константинов, С. А. | |
| dc.date.accessioned | 2018-05-29T09:51:15Z | |
| dc.date.available | 2018-05-29T09:51:15Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.description | структура покрытий | |
| dc.description | контролируемое нанесение | |
| dc.description | примеси нитрида титана | |
| dc.description | методы нанесения | |
| dc.description | магнетронное нанесение | |
| dc.description | нанокристаллические покрытия | |
| dc.description | элементный состав | |
| dc.description | нанесение покрытий | |
| dc.description | покрытия нового класса | |
| dc.description | свойства покрытий | |
| dc.description | состав покрытий | |
| dc.description | легирование примесями | |
| dc.description.abstract | ||
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru-RU |
| dc.identifier.citation | Исследование структуры, элементного состава и свойств нового класса нанокристаллических покрытий на основе легированного примесями нитрида титана, нанесенных методом контролируемого магнетронного распыления / А. П. Бурмаков [и др.] // Международный симпозиум "Перспективные материалы и технологии" : сборник статей, Витебск, 24-26 мая 2011 г. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2011. - С. 164-167. | ru-RU |
| dc.identifier.issn | ru-RU | |
| dc.identifier.uri | http://rep.vstu.by/handle/123456789/8053 | |
| dc.language.iso | rus | ru-RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru-RU |
| dc.source | Международный симпозиум "Перспективные материалы и технологии" : сборник статей, Витебск, 24-26 мая 2011 г. / УО "ВГТУ" | ru-RU |
| dc.title | Исследование структуры, элементного состава и свойств нового класса нанокристаллических покрытий на основе легированного примесями нитрида титана, нанесенных методом контролируемого магнетронного распыления | ru-RU |
| dc.type | Article | ru-RU |