Исследование структуры, элементного состава и свойств нового класса нанокристаллических покрытий на основе легированного примесями нитрида титана, нанесенных методом контролируемого магнетронного распыления

ISSN 2522-1647

Файлы в этом документе

Данный элемент включен в следующие коллекции

Яндекс.Метрика