Эллипсометрия тонких диэлектрических пленок
Загрузка...
Дата
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
диэлектрики
диэлектрические пленки
тонкие пленки
параметры пленок
оптические параметры
толщина пленок
методы измерений
эллипсометрия пленок
диэлектрические пленки
тонкие пленки
параметры пленок
оптические параметры
толщина пленок
методы измерений
эллипсометрия пленок
Ключевые слова
Цитирование
Эллипсометрия тонких диэлектрических пленок / А. Н. Петлицкий [и др.]
// Материалы докладов 47 международной научно-технической конференции преподавателей и студентов / УО "ВГТУ". - Витебск, 2014. - С. 307-310. - Библиогр.: с. 310 (2 назв.).