Эллипсометрия тонких диэлектрических пленок
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | |
| dc.contributor.author | Крекотень, А. Н. | |
| dc.contributor.author | Коледа, Т. Н. | |
| dc.contributor.author | Леонтьев, А. В. | |
| dc.date.accessioned | 2017-11-23T06:55:35Z | |
| dc.date.available | 2017-11-23T06:55:35Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.description | диэлектрики | ru_RU |
| dc.description | диэлектрические пленки | ru_RU |
| dc.description | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.description | параметры пленок | ru_RU |
| dc.description | оптические параметры | ru_RU |
| dc.description | толщина пленок | ru_RU |
| dc.description | методы измерений | ru_RU |
| dc.description | эллипсометрия пленок | ru_RU |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru_RU |
| dc.identifier.citation | Эллипсометрия тонких диэлектрических пленок / А. Н. Петлицкий [и др.] // Материалы докладов 47 международной научно-технической конференции преподавателей и студентов / УО "ВГТУ". - Витебск, 2014. - С. 307-310. - Библиогр.: с. 310 (2 назв.). | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-481-347-9 | |
| dc.identifier.uri | http://rep.vstu.by/handle/123456789/2825 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru_RU |
| dc.source | Материалы докладов 47 Международной научно-технической конференции преподавателей и студентов. - 2014 | ru_RU |
| dc.title | Эллипсометрия тонких диэлектрических пленок | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |