Эллипсометрия тонких диэлектрических пленок

Петлицкий, А. Н.; Крекотень, А. Н.; Коледа, Т. Н.; Леонтьев, А. В.

Главная
→
Материалы конференций, семинаров
→
Международные конференции
→
Материалы докладов 47 международной научно-технической конференции преподавателей и студентов, 2014 г.
→
Просмотр элемента

ISSN 2522-1647

Эллипсометрия тонких диэлектрических пленок

Петлицкий, А. Н.; Крекотень, А. Н.; Коледа, Т. Н.; Леонтьев, А. В.

URI: http://rep.vstu.by/handle/123456789/2825

Дата: 2014

Библиографическое описание:

Эллипсометрия тонких диэлектрических пленок / А. Н. Петлицкий [и др.] // Материалы докладов 47 международной научно-технической конференции преподавателей и студентов / УО "ВГТУ". - Витебск, 2014. - С. 307-310. - Библиогр.: с. 310 (2 назв.).