Эллипсометрия тонких диэлектрических пленок

Петлицкий, А. Н.; Крекотень, А. Н.; Коледа, Т. Н.; Леонтьев, А. В.

Главная
→
Материалы конференций, семинаров
→
Международные конференции
→
Материалы докладов 47 международной научно-технической конференции преподавателей и студентов, 2014 г.
→
Просмотр элемента

ISSN 2522-1647

dc.contributor.author	Петлицкий, А. Н.
dc.contributor.author	Крекотень, А. Н.
dc.contributor.author	Коледа, Т. Н.
dc.contributor.author	Леонтьев, А. В.
dc.date.accessioned	2017-11-23T06:55:35Z
dc.date.available	2017-11-23T06:55:35Z
dc.date.issued	2014
dc.identifier.citation	Эллипсометрия тонких диэлектрических пленок / А. Н. Петлицкий [и др.] // Материалы докладов 47 международной научно-технической конференции преподавателей и студентов / УО "ВГТУ". - Витебск, 2014. - С. 307-310. - Библиогр.: с. 310 (2 назв.).	ru_RU
dc.identifier.isbn	978-985-481-347-9
dc.identifier.uri	http://rep.vstu.by/handle/123456789/2825
dc.description	диэлектрики	ru_RU
dc.description	диэлектрические пленки	ru_RU
dc.description	тонкие пленки	ru_RU
dc.description	параметры пленок	ru_RU
dc.description	оптические параметры	ru_RU
dc.description	толщина пленок	ru_RU
dc.description	методы измерений	ru_RU
dc.description	эллипсометрия пленок	ru_RU
dc.format.mimetype	application/pdf	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Витебский государственный технологический университет	ru_RU
dc.source	Материалы докладов 47 Международной научно-технической конференции преподавателей и студентов. - 2014	ru_RU
dc.title	Эллипсометрия тонких диэлектрических пленок	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU