Библиографическое описание:
Акимов, А. Н. Исследование процессов формирования слоистых полупроводниковых структур в кристаллах типа А3В5 с использованием технологии ионного легирования / А. Н. Акимов, Л. А. Власукова // Сборник докладов международной научно-технической конференции "Новые ресурсосберегающие технологии и улучшение экологической обстановки в легкой промышленности и машиностроении" / ВГТУ. - Витебск, 1998. - С. 141-142.