Роль размерного и скоростного факторов при формировании микрорельефа на бездислокационном Si в условиях сильно стесненной деформации

Тюрин, А. И.; Иволгин, В. И.; Коренков, В. В.; Юнак, М. А.

ISSN 2522-1647

Роль размерного и скоростного факторов при формировании микрорельефа на бездислокационном Si в условиях сильно стесненной деформации

Тюрин, А. И.; Иволгин, В. И.; Коренков, В. В.; Юнак, М. А.

URI: http://rep.vstu.by/handle/123456789/6965

Date: 2007

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-citation:

Тюрин, А. И. Роль размерного и скоростного факторов при формировании микрорельефа на бездислокационном Si в условиях сильно стесненной деформации / А. И. Тюрин [и др.] // 46 Международная конференция "Актуальные проблемы прочности" : материалы конференции, Витебск, 15-17 октября 2007 г. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2007. - Ч. 1. - С. 137-138.

Description:

Si; бездислокационный Si; кремний; микрорельеф кремния; размерные факторы; скоростные факторы; стесненные деформации; условия формирования; факторы формирования; формирование микрорельефа

Show full item record