Роль размерного и скоростного факторов при формировании микрорельефа на бездислокационном Si в условиях сильно стесненной деформации

Тюрин, А. И.; Иволгин, В. И.; Коренков, В. В.; Юнак, М. А.

Главная
→
Материалы конференций, семинаров
→
Международные конференции
→
Актуальные проблемы прочности : материалы 46 Международной конференции, 2007 г. : в 2 ч. Ч. 1.
→
Просмотр элемента

ISSN 2522-1647

dc.contributor.author	Тюрин, А. И.
dc.contributor.author	Иволгин, В. И.
dc.contributor.author	Коренков, В. В.
dc.contributor.author	Юнак, М. А.
dc.date.accessioned	2018-04-24T12:48:11Z
dc.date.available	2018-04-24T12:48:11Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Тюрин, А. И. Роль размерного и скоростного факторов при формировании микрорельефа на бездислокационном Si в условиях сильно стесненной деформации / А. И. Тюрин [и др.] // 46 Международная конференция "Актуальные проблемы прочности" : материалы конференции, Витебск, 15-17 октября 2007 г. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2007. - Ч. 1. - С. 137-138.	ru-RU
dc.identifier.issn		ru-RU
dc.identifier.uri	http://rep.vstu.by/handle/123456789/6965
dc.description	Si
dc.description	бездислокационный Si
dc.description	кремний
dc.description	микрорельеф кремния
dc.description	размерные факторы
dc.description	скоростные факторы
dc.description	стесненные деформации
dc.description	условия формирования
dc.description	факторы формирования
dc.description	формирование микрорельефа
dc.description.abstract
dc.format.mimetype	application/pdf	ru-RU
dc.language.iso	rus	ru-RU
dc.publisher	Витебский государственный технологический университет	ru-RU
dc.source	46 Международная конференция "Актуальные проблемы прочности" : материалы конференции, Витебск, 15-17 октября 2007 г. / УО "ВГТУ"	ru-RU
dc.subject		ru-RU
dc.title	Роль размерного и скоростного факторов при формировании микрорельефа на бездислокационном Si в условиях сильно стесненной деформации	ru-RU
dc.type	Article	ru-RU