Библиографическое описание:
Немцев, В. Н.
Перспективные материалы для микроэлектроники / В. Н. Немцев, В. Н. Степаненко, Е. А. Телущенко
// Перспективные материалы и технологии : монография : в 2 т. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2017. - Т. 2. - С. 406-417.