ISSN 2522-1647
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Показать сокращенную информацию
| dc.contributor.author | Немцев, В. Н. | |
| dc.contributor.author | Степаненко, В. Н. | |
| dc.contributor.author | Телущенко, Е. А. | |
| dc.date.accessioned | 2021-06-18T06:38:46Z | |
| dc.date.available | 2021-06-18T06:38:46Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.citation | Немцев, В. Н. Перспективные материалы для микроэлектроники / В. Н. Немцев, В. Н. Степаненко, Е. А. Телущенко // Перспективные материалы и технологии : монография : в 2 т. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2017. - Т. 2. - С. 406-417. | ru-RU |
| dc.identifier.issn | ru-RU | |
| dc.identifier.uri | http://rep.vstu.by/handle/123456789/14458 | |
| dc.description | получение тетрофторида кремния | |
| dc.description | материалы для микроэлектроники | |
| dc.description | перспективные материалы | |
| dc.description | микроэлектроника | |
| dc.description | процессы получения | |
| dc.description | тетрафторид кремния | |
| dc.description.abstract | ||
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru-RU |
| dc.language.iso | rus | ru-RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru-RU |
| dc.source | Перспективные материалы и технологии : монография : в 2 т. / УО "ВГТУ" | ru-RU |
| dc.title | Перспективные материалы для микроэлектроники | ru-RU |
| dc.type | Article | ru-RU |
