<link rel="stylesheet" href="styles.f3b1fba60ec7970c.css">
Сейчас идет активное тестирование репозитория. Сообщайте обо всех найденных ошибках через техническую поддержку.

Исследование процессов формирования слоистых полупроводниковых структур в кристаллах типа А3В5 с использованием технологии ионного легирования

Простая страница элемента
dc.contributor.authorАкимов, А. Н.
dc.contributor.authorВласукова, Л. А.
dc.date.accessioned2018-06-12T09:16:47Z
dc.date.available2018-06-12T09:16:47Z
dc.date.issued1998
dc.descriptionуменьшение энергозатрат
dc.descriptionимплантирование арсенида
dc.descriptionэнергозатраты
dc.descriptionполупроводники
dc.descriptionтипы кристаллов
dc.descriptionслоистые полупроводниковые структуры
dc.descriptionарсенид галлия
dc.descriptionкристаллы
dc.descriptionтехнология легирования
dc.descriptionструктурно-фазовые состояния
dc.descriptionионная имплантация
dc.descriptionионное легирование
dc.descriptionполупроводниковые структуры
dc.descriptionтип А3В5
dc.descriptionслоистые структуры
dc.description.abstract
dc.format.mimetypeapplication/pdfru-RU
dc.identifier.citationАкимов, А. Н. Исследование процессов формирования слоистых полупроводниковых структур в кристаллах типа А3В5 с использованием технологии ионного легирования / А. Н. Акимов, Л. А. Власукова // Сборник докладов международной научно-технической конференции "Новые ресурсосберегающие технологии и улучшение экологической обстановки в легкой промышленности и машиностроении" / ВГТУ. - Витебск, 1998. - С. 141-142.ru-RU
dc.identifier.issnru-RU
dc.identifier.urihttp://rep.vstu.by/handle/123456789/8143
dc.language.isorusru-RU
dc.publisherВитебский государственный технологический университетru-RU
dc.sourceСборник докладов международной научно-технической конференции "Новые ресурсосберегающие технологии и улучшение экологической обстановки в легкой промышленности и машиностроении" / ВГТУru-RU
dc.titleИсследование процессов формирования слоистых полупроводниковых структур в кристаллах типа А3В5 с использованием технологии ионного легированияru-RU
dc.typeArticleru-RU

Файлы

Оригинальный пакет

Показано 1 - 1 из 1
Изображение-миниатюра
Имя:
SbDok1998_141-142.pdf
Размер:
74,69 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Скачать

Пакет лицензий

Показано 1 - 1 из 1
Изображение-миниатюра
Имя:
license.txt
Размер:
1,71 KB
Формат:
Plain Text
Описание:
Скачать

Коллекции

Новые ресурсосберегающие технологии и улучшение экологической обстановки в легкой промышленности и машиностроении : сборник докладов Международной научно-технической конференции, 1998 г.