Моделирование дислокационной структуры и внутренних напряжений при обработке локальным источником энергии
| dc.contributor.author | Емалетдинов, А. К. | |
| dc.contributor.author | Хамидуллин, И. Н. | |
| dc.date.accessioned | 2020-03-02T11:29:04Z | |
| dc.date.available | 2020-03-02T11:29:04Z | |
| dc.date.issued | 2004 | |
| dc.description | моделирование структуры | |
| dc.description | напряжения при отжиге | |
| dc.description | внутренние напряжения | |
| dc.description | дислокационная структура | |
| dc.description | микроэлектроника | |
| dc.description | элементы микроэлектроники | |
| dc.description | отжиг элементов | |
| dc.description | обработка элементов | |
| dc.description | локальные источники энергии | |
| dc.description | напряжения в элементах | |
| dc.description | структура напряжений | |
| dc.description.abstract | ||
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru-RU |
| dc.identifier.citation | Емалетдинов, А. К. Моделирование дислокационной структуры и внутренних напряжений при обработке локальным источником энергии / А. К. Емалетдинов, И. Н. Хамидуллин // 43 Международная конференция "Актуальные проблемы прочности" : материалы конференции, Витебск, 27 сентября - 1 октября 2004 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2004. - Ч. 1. - С. 128-129. | ru-RU |
| dc.identifier.issn | ru-RU | |
| dc.identifier.uri | http://rep.vstu.by/handle/123456789/12302 | |
| dc.language.iso | rus | ru-RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru-RU |
| dc.source | 43 Международная конференция "Актуальные проблемы прочности" : материалы конференции, Витебск, 27 сентября - 1 октября 2004 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ" | ru-RU |
| dc.title | Моделирование дислокационной структуры и внутренних напряжений при обработке локальным источником энергии | ru-RU |
| dc.type | Article | ru-RU |