Моделирование дислокационной структуры и внутренних напряжений при обработке локальным источником энергии
Загрузка...
Дата
Authors
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
моделирование структуры
напряжения при отжиге
внутренние напряжения
дислокационная структура
микроэлектроника
элементы микроэлектроники
отжиг элементов
обработка элементов
локальные источники энергии
напряжения в элементах
структура напряжений
напряжения при отжиге
внутренние напряжения
дислокационная структура
микроэлектроника
элементы микроэлектроники
отжиг элементов
обработка элементов
локальные источники энергии
напряжения в элементах
структура напряжений
Ключевые слова
Цитирование
Емалетдинов, А. К. Моделирование дислокационной структуры и внутренних напряжений при обработке локальным источником энергии / А. К. Емалетдинов, И. Н. Хамидуллин // 43 Международная конференция "Актуальные проблемы прочности" : материалы конференции, Витебск, 27 сентября - 1 октября 2004 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2004. - Ч. 1. - С. 128-129.