Исследовать закономерности формирования многослойных керамических планарных конденсаторов для микроэлектроники на основе сегнетоэлектрических твердых растворов и разработать научные принципы технологии их производства
Загрузка...
Дата
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Представлены результаты расчета планарного конденсатора на основе тонких(~0,03мкм) сегнетоэлектрических пленок твердых растворов перовскитов. Методом конформных отображений расчитаны удельная емкость и тангенс угла потерь такой структуры. Предложена конструкция многослойной планарной системы.
Описание
работы научно-исследовательские
НИР
конденсаторы керамические
сегнетоэлектрик
синтез пленок
НИР
конденсаторы керамические
сегнетоэлектрик
синтез пленок
Ключевые слова
Цитирование
Исследовать закономерности формирования многослойных керамических планарных конденсаторов для микроэлектроники на основе сегнетоэлектрических твердых растворов и разработать научные принципы технологии их производства : отчет о НИР (промежуточный) : 2004-Г/Б-328 / УО "ВГТУ" ; науч. рук. Ю. И. Бохан. - Витебск, 2004. - 13 с. : рис. - Спис. лит.