Библиографическое описание:
Исследовать закономерности формирования многослойных керамических планарных конденсаторов для микроэлектроники на основе сегнетоэлектрических твердых растворов и разработать научные принципы технологии их производства : отчет о НИР (промежуточный) : 2004-Г/Б-328 / УО "ВГТУ" ; науч. рук. Ю. И. Бохан. - Витебск, 2004. - 13 с. : рис. - Спис. лит.
Аннотация:
Представлены результаты расчета планарного конденсатора на
основе тонких(~0,03мкм) сегнетоэлектрических пленок твердых растворов
перовскитов. Методом конформных отображений расчитаны удельная
емкость и тангенс угла потерь такой структуры. Предложена конструкция
многослойной планарной системы.
