Перспективные материалы для микроэлектроники
| dc.contributor.author | Немцев, В. Н. | |
| dc.contributor.author | Степаненко, В. Н. | |
| dc.contributor.author | Телущенко, Е. А. | |
| dc.date.accessioned | 2019-02-21T08:09:33Z | |
| dc.date.available | 2019-02-21T08:09:33Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.description | синтез тетрафторида кремния | |
| dc.description | технологии синтеза | |
| dc.description | материалы для микроэлектроники | |
| dc.description | перспективные материалы | |
| dc.description | микроэлектроника | |
| dc.description | тетрафторид кремния | |
| dc.description.abstract | ||
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru-RU |
| dc.identifier.citation | Немцев, В. Н. Перспективные материалы для микроэлектроники / В. Н. Немцев, В. Н. Степаненко, Е. А. Телущенко // Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ", ГНУ "Институт технической акустики НАН Беларуси". - Витебск, 2017. - Ч. 2. - С. 196-199. | ru-RU |
| dc.identifier.issn | ru-RU | |
| dc.identifier.uri | http://rep.vstu.by/handle/123456789/10317 | |
| dc.language.iso | rus | ru-RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru-RU |
| dc.source | Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ", ГНУ "Институт технической акустики НАН Беларуси" | ru-RU |
| dc.title | Перспективные материалы для микроэлектроники | ru-RU |
| dc.type | Article | ru-RU |