Перспективные материалы для микроэлектроники
Загрузка...
Дата
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
синтез тетрафторида кремния
технологии синтеза
материалы для микроэлектроники
перспективные материалы
микроэлектроника
тетрафторид кремния
технологии синтеза
материалы для микроэлектроники
перспективные материалы
микроэлектроника
тетрафторид кремния
Ключевые слова
Цитирование
Немцев, В. Н. Перспективные материалы для микроэлектроники / В. Н. Немцев, В. Н. Степаненко, Е. А. Телущенко // Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ", ГНУ "Институт технической акустики НАН Беларуси". - Витебск, 2017. - Ч. 2. - С. 196-199.