Влияние структурных параметров подложки на свойства напыляемой пленки
| dc.contributor.author | Хапов, А. С. | |
| dc.contributor.author | Чеканов, С. В. | |
| dc.contributor.author | Военнов, А. В. | |
| dc.contributor.author | Поротников, Л. К. | |
| dc.contributor.author | Лосенко, Д. С. | |
| dc.date.accessioned | 2019-07-01T12:25:09Z | |
| dc.date.available | 2019-07-01T12:25:09Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.description | поликристаллические материалы | |
| dc.description | металлические пленки | |
| dc.description | свойства пленок | |
| dc.description | параметры подложек | |
| dc.description | подложки | |
| dc.description | напыление пленок на подложки | |
| dc.description | структурные параметры | |
| dc.description.abstract | ||
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru-RU |
| dc.identifier.citation | Влияние структурных параметров подложки на свойства напыляемой пленки / А. С. Хапов [и др.] // Международный симпозиум "Перспективные материалы и технологии" : материалы симпозиума, Брест, 27-31 мая 2019 г. / Национальная академия наук Беларуси, Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследова. - Витебск, 2019. - С. 223-225. | ru-RU |
| dc.identifier.issn | ru-RU | |
| dc.identifier.uri | http://rep.vstu.by/handle/123456789/11173 | |
| dc.language.iso | rus | ru-RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru-RU |
| dc.source | Международный симпозиум "Перспективные материалы и технологии" : материалы симпозиума, Брест, 27-31 мая 2019 г. / Национальная академия наук Беларуси, Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследова | ru-RU |
| dc.title | Влияние структурных параметров подложки на свойства напыляемой пленки | ru-RU |
| dc.type | Article | ru-RU |