Влияние структурных параметров подложки на свойства напыляемой пленки
Загрузка...
Дата
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
поликристаллические материалы
металлические пленки
свойства пленок
параметры подложек
подложки
напыление пленок на подложки
структурные параметры
металлические пленки
свойства пленок
параметры подложек
подложки
напыление пленок на подложки
структурные параметры
Ключевые слова
Цитирование
Влияние структурных параметров подложки на свойства напыляемой пленки / А. С. Хапов [и др.] // Международный симпозиум "Перспективные материалы и технологии" : материалы симпозиума, Брест, 27-31 мая 2019 г. / Национальная академия наук Беларуси, Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследова. - Витебск, 2019. - С. 223-225.