Структурные и оптические свойства монокристаллического кремния, модифицированного компрессионным плазменным воздействием
| dc.contributor.author | Мудрый, А. В. | |
| dc.contributor.author | Бородавченко, О. М. | |
| dc.contributor.author | Живулько, В. Д. | |
| dc.contributor.author | Кудактин, Р. С. | |
| dc.contributor.author | Асташинский, В. М. | |
| dc.contributor.author | Леоненя, М. С. | |
| dc.contributor.author | Яблонский, Г. П. | |
| dc.date.accessioned | 2019-02-20T13:42:13Z | |
| dc.date.available | 2019-02-20T13:42:13Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.description | модифицированный кремний | |
| dc.description | плазменная модификация | |
| dc.description | структурные свойства | |
| dc.description | компрессионные воздействия | |
| dc.description | плазменные воздействия | |
| dc.description | монокристаллический кремний | |
| dc.description | свойства кремния | |
| dc.description | оптические свойства | |
| dc.description.abstract | ||
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru-RU |
| dc.identifier.citation | Структурные и оптические свойства монокристаллического кремния, модифицированного компрессионным плазменным воздействием / А. В. Мудрый [и др.] // Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ", ГНУ "Институт технической акустики НАН Беларуси". - Витебск, 2017. - Ч. 2. - С. 57-59. | ru-RU |
| dc.identifier.issn | ru-RU | |
| dc.identifier.uri | http://rep.vstu.by/handle/123456789/10271 | |
| dc.language.iso | rus | ru-RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru-RU |
| dc.source | Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ", ГНУ "Институт технической акустики НАН Беларуси" | ru-RU |
| dc.title | Структурные и оптические свойства монокристаллического кремния, модифицированного компрессионным плазменным воздействием | ru-RU |
| dc.type | Article | ru-RU |