Структурные и оптические свойства монокристаллического кремния, модифицированного компрессионным плазменным воздействием
Загрузка...
Дата
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
модифицированный кремний
плазменная модификация
структурные свойства
компрессионные воздействия
плазменные воздействия
монокристаллический кремний
свойства кремния
оптические свойства
плазменная модификация
структурные свойства
компрессионные воздействия
плазменные воздействия
монокристаллический кремний
свойства кремния
оптические свойства
Ключевые слова
Цитирование
Структурные и оптические свойства монокристаллического кремния, модифицированного компрессионным плазменным воздействием / А. В. Мудрый [и др.] // Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ", ГНУ "Институт технической акустики НАН Беларуси". - Витебск, 2017. - Ч. 2. - С. 57-59.