Разработка установки для магнетронного ионно-плазменного напыления покрытий
| dc.contributor.author | Волосюк, А. Н. | |
| dc.contributor.author | Алексеев, И. С. | |
| dc.date.accessioned | 2017-11-30T14:12:57Z | |
| dc.date.available | 2017-11-30T14:12:57Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.description | напыление покрытий | ru_RU |
| dc.description | магнетронное напыление | ru_RU |
| dc.description | ионно-плазменное напыление | ru_RU |
| dc.description | установки для напыления | ru_RU |
| dc.description | магнетронные распылители | ru_RU |
| dc.description | конструкции установок | ru_RU |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru_RU |
| dc.identifier.citation | Волосюк, А. Н. Разработка установки для магнетронного ионно-плазменного напыления покрытий / А. Н. Волосюк, И. С. Алексеев // Материалы докладов 47 международной научно-технической конференции преподавателей и студентов / УО "ВГТУ". - Витебск, 2014. - С. 515-517. | ru_RU |
| dc.identifier.issn | 978-985-481-347-9 | |
| dc.identifier.uri | http://rep.vstu.by/handle/123456789/3063 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru_RU |
| dc.source | Материалы докладов 47 Международной научно-технической конференции преподавателей и студентов. - 2014 | ru_RU |
| dc.title | Разработка установки для магнетронного ионно-плазменного напыления покрытий | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |