Разработка установки для магнетронного ионно-плазменного напыления покрытий
Загрузка...
Дата
Authors
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
напыление покрытий
магнетронное напыление
ионно-плазменное напыление
установки для напыления
магнетронные распылители
конструкции установок
магнетронное напыление
ионно-плазменное напыление
установки для напыления
магнетронные распылители
конструкции установок
Ключевые слова
Цитирование
Волосюк, А. Н.
Разработка установки для магнетронного ионно-плазменного напыления покрытий / А. Н. Волосюк, И. С. Алексеев
// Материалы докладов 47 международной научно-технической конференции преподавателей и студентов / УО "ВГТУ". - Витебск, 2014. - С. 515-517.