Влияние примесей на микротвердость монокристаллического кремния
| dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | |
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | |
| dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | |
| dc.date.accessioned | 2020-03-11T09:48:02Z | |
| dc.date.available | 2020-03-11T09:48:02Z | |
| dc.date.issued | 2000 | |
| dc.description | исследование влияния | |
| dc.description | монокристаллический кремний | |
| dc.description | легированный кремний | |
| dc.description | примеси к кремнию | |
| dc.description | микротвердость кремния | |
| dc.description | диффундирующие металлические примеси | |
| dc.description | влияние примесей на микротвердость | |
| dc.description | металлы | |
| dc.description.abstract | ||
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru-RU |
| dc.identifier.citation | Вабищевич, С. А. Влияние примесей на микротвердость монокристаллического кремния / С. А. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, Н. В. Вабищевич // Физика процессов деформации и разрушения и прогнозирование механического поведения материалов : труды 36 Международного семинара "Актуальные проблемы прочности", 26-29 сентября 2000 г. : в 2 ч. / ВГТУ ; НИИ математики и механики СПбГУ. - Витебск, 2000. - Ч. 1. - С. 145-149. | ru-RU |
| dc.identifier.issn | ru-RU | |
| dc.identifier.uri | http://rep.vstu.by/handle/123456789/12389 | |
| dc.language.iso | rus | ru-RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru-RU |
| dc.source | Физика процессов деформации и разрушения и прогнозирование механического поведения материалов : труды 36 Международного семинара "Актуальные проблемы прочности", 26-29 сентября 2000 г. : в 2 ч. / ВГТУ ; НИИ математики и механики СПбГУ | ru-RU |
| dc.title | Влияние примесей на микротвердость монокристаллического кремния | ru-RU |
| dc.type | Article | ru-RU |