Влияние примесей на микротвердость монокристаллического кремния
Загрузка...
Дата
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
исследование влияния
монокристаллический кремний
легированный кремний
примеси к кремнию
микротвердость кремния
диффундирующие металлические примеси
влияние примесей на микротвердость
металлы
монокристаллический кремний
легированный кремний
примеси к кремнию
микротвердость кремния
диффундирующие металлические примеси
влияние примесей на микротвердость
металлы
Ключевые слова
Цитирование
Вабищевич, С. А. Влияние примесей на микротвердость монокристаллического кремния / С. А. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, Н. В. Вабищевич // Физика процессов деформации и разрушения и прогнозирование механического поведения материалов : труды 36 Международного семинара "Актуальные проблемы прочности", 26-29 сентября 2000 г. : в 2 ч. / ВГТУ ; НИИ математики и механики СПбГУ. - Витебск, 2000. - Ч. 1. - С. 145-149.