Перспективные материалы для микроэлектроники
Загрузка...
Дата
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
получение тетрофторида кремния
материалы для микроэлектроники
перспективные материалы
микроэлектроника
процессы получения
тетрафторид кремния
материалы для микроэлектроники
перспективные материалы
микроэлектроника
процессы получения
тетрафторид кремния
Ключевые слова
Цитирование
Немцев, В. Н.
Перспективные материалы для микроэлектроники / В. Н. Немцев, В. Н. Степаненко, Е. А. Телущенко
// Перспективные материалы и технологии : монография : в 2 т. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2017. - Т. 2. - С. 406-417.