Оценка величины интегральной температуры катода технологических вакуумных дуговых источников плазмы
| dc.contributor.author | Иванов, И. А. | |
| dc.contributor.author | Ковалевич, Э. В. | |
| dc.date.accessioned | 2026-02-23T10:32:46Z | |
| dc.date.available | 2026-02-23T10:32:46Z | |
| dc.date.issued | 2025 | |
| dc.description | плазма | ru_RU |
| dc.description | источники плазмы | ru_RU |
| dc.description | вакуумные дуговые источники плазмы | ru_RU |
| dc.description | вакуумная дуга | ru_RU |
| dc.description | катод | ru_RU |
| dc.description | катод-мишень | ru_RU |
| dc.description | изготовление катода-мишени | ru_RU |
| dc.description | состав катода-мишени | ru_RU |
| dc.description | химический состав | ru_RU |
| dc.description | подбор химического состава | ru_RU |
| dc.description | температура катода | ru_RU |
| dc.description | интегральная температура | ru_RU |
| dc.description | величина интегральной температуры | ru_RU |
| dc.description | оценка величины | ru_RU |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru_RU |
| dc.identifier.citation | Иванов, И. А. Оценка величины интегральной температуры катода технологических вакуумных дуговых источников плазмы / И. А. Иванов, Э. В. Ковалевич // Материалы и технологии. – 2025. – № 2 (16). - С. 26-31. – Библиогр.: с. 30-31 (10 назв.). | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://rep.vstu.by/handle/123456789/21849 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru_RU |
| dc.title | Оценка величины интегральной температуры катода технологических вакуумных дуговых источников плазмы | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |