Оценка величины интегральной температуры катода технологических вакуумных дуговых источников плазмы
Загрузка...
Дата
Authors
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
плазма
источники плазмы
вакуумные дуговые источники плазмы
вакуумная дуга
катод
катод-мишень
изготовление катода-мишени
состав катода-мишени
химический состав
подбор химического состава
температура катода
интегральная температура
величина интегральной температуры
оценка величины
источники плазмы
вакуумные дуговые источники плазмы
вакуумная дуга
катод
катод-мишень
изготовление катода-мишени
состав катода-мишени
химический состав
подбор химического состава
температура катода
интегральная температура
величина интегральной температуры
оценка величины
Ключевые слова
Цитирование
Иванов, И. А.
Оценка величины интегральной температуры катода технологических вакуумных дуговых источников плазмы / И. А. Иванов, Э. В. Ковалевич
// Материалы и технологии. – 2025. – № 2 (16). - С. 26-31. – Библиогр.: с. 30-31 (10 назв.).