Оптимизация условий электронно-лучевой литографии и решение прикладных задач по радиационной безопасности методом Монте-Карло
| dc.contributor.author | Ковчур, А. С. | |
| dc.contributor.author | Минченкова, О. В. | |
| dc.contributor.author | Леонтьев, А. В. | |
| dc.date.accessioned | 2019-01-15T13:19:03Z | |
| dc.date.available | 2019-01-15T13:19:03Z | |
| dc.date.issued | 2003 | |
| dc.description | методы решения | |
| dc.description | радиационная безопасность | |
| dc.description | электронно-лучевая литография | |
| dc.description | оптимизация условий | |
| dc.description | метод Монте-Карло | |
| dc.description | условия литографии | |
| dc.description | задачи по радиационной безопасности | |
| dc.description | прикладные задачи | |
| dc.description | решение задач | |
| dc.description.abstract | ||
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru-RU |
| dc.identifier.citation | Ковчур, А. С. Оптимизация условий электронно-лучевой литографии и решение прикладных задач по радиационной безопасности методом Монте-Карло / А. С. Ковчур, О. В. Минченкова, А. В. Леонтьев // Ресурсо-и энергосберегающие технологии промышленного производства : материалы международной научно-технической конференции, Витебск, ноябрь, 2003 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2003. - Ч. 2. - С. 174-179. | ru-RU |
| dc.identifier.issn | ru-RU | |
| dc.identifier.uri | http://rep.vstu.by/handle/123456789/10031 | |
| dc.language.iso | rus | ru-RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru-RU |
| dc.source | Ресурсо-и энергосберегающие технологии промышленного производства : материалы международной научно-технической конференции, Витебск, ноябрь, 2003 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ" | ru-RU |
| dc.title | Оптимизация условий электронно-лучевой литографии и решение прикладных задач по радиационной безопасности методом Монте-Карло | ru-RU |
| dc.type | Article | ru-RU |