Оптимизация условий электронно-лучевой литографии и решение прикладных задач по радиационной безопасности методом Монте-Карло
Загрузка...
Дата
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
методы решения
радиационная безопасность
электронно-лучевая литография
оптимизация условий
метод Монте-Карло
условия литографии
задачи по радиационной безопасности
прикладные задачи
решение задач
радиационная безопасность
электронно-лучевая литография
оптимизация условий
метод Монте-Карло
условия литографии
задачи по радиационной безопасности
прикладные задачи
решение задач
Ключевые слова
Цитирование
Ковчур, А. С. Оптимизация условий электронно-лучевой литографии и решение прикладных задач по радиационной безопасности методом Монте-Карло / А. С. Ковчур, О. В. Минченкова, А. В. Леонтьев // Ресурсо-и энергосберегающие технологии промышленного производства : материалы международной научно-технической конференции, Витебск, ноябрь, 2003 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2003. - Ч. 2. - С. 174-179.