Осаждение Tini плёнок ионно-лучевым распылением

Рубаник, В. В.; Маркова, Л. В.; Андреев, М. А.; Рубаник, В. В. (мл.); Заболотина, Ю. А.

ISSN 2522-1647

Осаждение Tini плёнок ионно-лучевым распылением

Рубаник, В. В.; Маркова, Л. В.; Андреев, М. А.; Рубаник, В. В. (мл.); Заболотина, Ю. А.

URI: http://rep.vstu.by/handle/123456789/6827

Date: 2007

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-citation:

Рубаник, В. В. Осаждение Tini плёнок ионно-лучевым распылением / В. В. Рубаник [и др.] // 46 Международная конференция "Актуальные проблемы прочности" : материалы конференции, Витебск, 15-17 октября 2007 г. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2007. - Ч. 1. - С. 342-345.