Библиографическое описание:
Клубович, В. В.
Физические основы процессов восстановления игл-клапанов распылителей вакуумно-плазменными методами / В. В. Клубович, А. А. Яхновец, А. А. Корниенко
// Вестник учреждения образования "Витебский государственный технологический университет". - 2006. - Вып. 10. - С. 111-114. - Библиогр.: с. 114 (4 назв.).
Аннотация:
На основе распределения Больцмана моделируется процесс сорбции в вакууме ионов
низкотемпературной плазмы в приповерхностный слой кристаллической решетки металла-
подложки. Постулируется существование зоны захвата ионов плазмы. На базе этих
представлений получены простые соотношения, связывающие энергию активации для
абсорбции и несколько технических параметров: глубину прогрева, градиент температуры
подложки, потенциал подложки относительно катода дуги. Результаты представляют
интерес для прикладных исследований по осаждению тонких пленок на металлическую
поверхность.
