Роль размерного и скоростного факторов при формировании микрорельефа на бездислокационном Si в условиях сильно стесненной деформации
| dc.contributor.author | Тюрин, А. И. | |
| dc.contributor.author | Иволгин, В. И. | |
| dc.contributor.author | Коренков, В. В. | |
| dc.contributor.author | Юнак, М. А. | |
| dc.date.accessioned | 2018-04-24T12:48:11Z | |
| dc.date.available | 2018-04-24T12:48:11Z | |
| dc.date.issued | 2007 | |
| dc.description | Si | |
| dc.description | бездислокационный Si | |
| dc.description | кремний | |
| dc.description | микрорельеф кремния | |
| dc.description | размерные факторы | |
| dc.description | скоростные факторы | |
| dc.description | стесненные деформации | |
| dc.description | условия формирования | |
| dc.description | факторы формирования | |
| dc.description | формирование микрорельефа | |
| dc.description.abstract | ||
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru-RU |
| dc.identifier.citation | Тюрин, А. И. Роль размерного и скоростного факторов при формировании микрорельефа на бездислокационном Si в условиях сильно стесненной деформации / А. И. Тюрин [и др.] // 46 Международная конференция "Актуальные проблемы прочности" : материалы конференции, Витебск, 15-17 октября 2007 г. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2007. - Ч. 1. - С. 137-138. | ru-RU |
| dc.identifier.issn | ru-RU | |
| dc.identifier.uri | http://rep.vstu.by/handle/123456789/6965 | |
| dc.language.iso | rus | ru-RU |
| dc.publisher | Витебский государственный технологический университет | ru-RU |
| dc.source | 46 Международная конференция "Актуальные проблемы прочности" : материалы конференции, Витебск, 15-17 октября 2007 г. / УО "ВГТУ" | ru-RU |
| dc.subject | ru-RU | |
| dc.title | Роль размерного и скоростного факторов при формировании микрорельефа на бездислокационном Si в условиях сильно стесненной деформации | ru-RU |
| dc.type | Article | ru-RU |