Создание автоэмиссионных катодов для мощных ЭВП и вакуумной микроэлектроники
Загрузка...
Дата
Authors
Название журнала
ISSN журнала
Название тома
Издатель
Витебский государственный технологический университет
DOI
Аннотация
Описание
автоэмиссионные катоды
микроволновая плазма
пленочные структуры
катоды для микроэлектроники
катоды для мощных ЭВП
графитовые структуры
алмазные нанокристаллиты
метод микроволновой плазмы
композиционные структуры
структуры с нанокристаллитами
вакуумная микроэлектроника
создание катодов
методы создания
микроволновая плазма
пленочные структуры
катоды для микроэлектроники
катоды для мощных ЭВП
графитовые структуры
алмазные нанокристаллиты
метод микроволновой плазмы
композиционные структуры
структуры с нанокристаллитами
вакуумная микроэлектроника
создание катодов
методы создания
Ключевые слова
Цитирование
Яфаров, Р. К. Создание автоэмиссионных катодов для мощных ЭВП и вакуумной микроэлектроники / Р. К. Яфаров // Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ", ГНУ "Институт технической акустики НАН Беларуси". - Витебск, 2017. - Ч. 1. - С. 115-117.