Разработка установки для магнетронного ионно-плазменного напыления покрытий

Волосюк, А. Н.; Алексеев, И. С.

Главная
→
Материалы конференций, семинаров
→
Международные конференции
→
Материалы докладов 47 международной научно-технической конференции преподавателей и студентов, 2014 г.
→
Просмотр элемента

ISSN 2522-1647

dc.contributor.author	Волосюк, А. Н.
dc.contributor.author	Алексеев, И. С.
dc.date.accessioned	2017-11-30T14:12:57Z
dc.date.available	2017-11-30T14:12:57Z
dc.date.issued	2014
dc.identifier.citation	Волосюк, А. Н. Разработка установки для магнетронного ионно-плазменного напыления покрытий / А. Н. Волосюк, И. С. Алексеев // Материалы докладов 47 международной научно-технической конференции преподавателей и студентов / УО "ВГТУ". - Витебск, 2014. - С. 515-517.	ru_RU
dc.identifier.issn	978-985-481-347-9
dc.identifier.uri	http://rep.vstu.by/handle/123456789/3063
dc.description	напыление покрытий	ru_RU
dc.description	магнетронное напыление	ru_RU
dc.description	ионно-плазменное напыление	ru_RU
dc.description	установки для напыления	ru_RU
dc.description	магнетронные распылители	ru_RU
dc.description	конструкции установок	ru_RU
dc.format.mimetype	application/pdf	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Витебский государственный технологический университет	ru_RU
dc.source	Материалы докладов 47 Международной научно-технической конференции преподавателей и студентов. - 2014	ru_RU
dc.title	Разработка установки для магнетронного ионно-плазменного напыления покрытий	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU