Библиографическое описание:
Юманова, А. Н. К вопросу определения глубины модифицированного слоя, формируемого обработкой импульсным тлеющим разрядом / А. Н. Юманова, В. М. Шеменков // Тезисы докладов 56-й Международной научно-технической конференции преподавателей и студентов / УО "ВГТУ". - Витебск, 2023. - С. 246-247.