Влияние зарядового состояния на отжиг межузельного углерода в облученном кремнии

Коршунов, Ф. П.; Якушевич, А. С.; Ластовский, С. Б.; Мурин, Л. И.; Макаренко, Л. Ф.

Главная
→
Материалы конференций, семинаров
→
Международные конференции
→
Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. Ч. 1.
→
Просмотр элемента

ISSN 2522-1647

dc.contributor.author	Коршунов, Ф. П.
dc.contributor.author	Якушевич, А. С.
dc.contributor.author	Ластовский, С. Б.
dc.contributor.author	Мурин, Л. И.
dc.contributor.author	Макаренко, Л. Ф.
dc.date.accessioned	2021-01-21T07:37:46Z
dc.date.available	2021-01-21T07:37:46Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.citation	Влияние зарядового состояния на отжиг межузельного углерода в облученном кремнии / Ф. П. Коршунов [и др.] // Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ", ГНУ "Институт технической акустики НАН Беларуси". - Витебск, 2017. - Ч. 1. - С. 263-265.	ru-RU
dc.identifier.issn		ru-RU
dc.identifier.uri	http://rep.vstu.by/handle/123456789/14154
dc.description	зарядовое состояние
dc.description	влияние состояния на отжиг
dc.description	состояние облученного кремния
dc.description	межузельный углерод
dc.description	кремний
dc.description	облученный кремний
dc.description	углерод в облученном кремнии
dc.description	отжиг межузельного углерода
dc.description.abstract
dc.format.mimetype	application/pdf	ru-RU
dc.language.iso	rus	ru-RU
dc.publisher	Витебский государственный технологический университет	ru-RU
dc.source	Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ", ГНУ "Институт технической акустики НАН Беларуси"	ru-RU
dc.title	Влияние зарядового состояния на отжиг межузельного углерода в облученном кремнии	ru-RU
dc.type	Article	ru-RU