Влияние примесей на микротвердость монокристаллического кремния

Вабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.

ISSN 2522-1647

dc.contributor.author	Вабищевич, С. А.
dc.contributor.author	Бринкевич, Д. И.
dc.contributor.author	Вабищевич, Н. В.
dc.date.accessioned	2020-03-11T09:48:02Z
dc.date.available	2020-03-11T09:48:02Z
dc.date.issued	2000
dc.identifier.citation	Вабищевич, С. А. Влияние примесей на микротвердость монокристаллического кремния / С. А. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, Н. В. Вабищевич // Физика процессов деформации и разрушения и прогнозирование механического поведения материалов : труды 36 Международного семинара "Актуальные проблемы прочности", 26-29 сентября 2000 г. : в 2 ч. / ВГТУ ; НИИ математики и механики СПбГУ. - Витебск, 2000. - Ч. 1. - С. 145-149.	ru-RU
dc.identifier.issn		ru-RU
dc.identifier.uri	http://rep.vstu.by/handle/123456789/12389
dc.description	исследование влияния
dc.description	монокристаллический кремний
dc.description	легированный кремний
dc.description	примеси к кремнию
dc.description	микротвердость кремния
dc.description	диффундирующие металлические примеси
dc.description	влияние примесей на микротвердость
dc.description	металлы
dc.description.abstract
dc.format.mimetype	application/pdf	ru-RU
dc.language.iso	rus	ru-RU
dc.publisher	Витебский государственный технологический университет	ru-RU
dc.source	Физика процессов деформации и разрушения и прогнозирование механического поведения материалов : труды 36 Международного семинара "Актуальные проблемы прочности", 26-29 сентября 2000 г. : в 2 ч. / ВГТУ ; НИИ математики и механики СПбГУ	ru-RU
dc.title	Влияние примесей на микротвердость монокристаллического кремния	ru-RU
dc.type	Article	ru-RU