Перспективные материалы для микроэлектроники

ISSN 2522-1647

Показать сокращенную информацию

dc.contributor.author Немцев, В. Н.
dc.contributor.author Степаненко, В. Н.
dc.contributor.author Телущенко, Е. А.
dc.date.accessioned 2019-02-21T08:09:33Z
dc.date.available 2019-02-21T08:09:33Z
dc.date.issued 2017
dc.identifier.citation Немцев, В. Н. Перспективные материалы для микроэлектроники / В. Н. Немцев, В. Н. Степаненко, Е. А. Телущенко // Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ", ГНУ "Институт технической акустики НАН Беларуси". - Витебск, 2017. - Ч. 2. - С. 196-199. ru-RU
dc.identifier.issn ru-RU
dc.identifier.uri http://rep.vstu.by/handle/123456789/10317
dc.description синтез тетрафторида кремния
dc.description технологии синтеза
dc.description материалы для микроэлектроники
dc.description перспективные материалы
dc.description микроэлектроника
dc.description тетрафторид кремния
dc.description.abstract
dc.format.mimetype application/pdf ru-RU
dc.language.iso rus ru-RU
dc.publisher Витебский государственный технологический университет ru-RU
dc.source Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума, Витебск, 22-26 мая 2017 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ", ГНУ "Институт технической акустики НАН Беларуси" ru-RU
dc.title Перспективные материалы для микроэлектроники ru-RU
dc.type Article ru-RU


Файлы в этом документе

Icon
Имя: per_mat_i_teh_2_2 ...
Размер: 609.5Kb
Формат: PDF
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию

Яндекс.Метрика