Оптимизация условий электронно-лучевой литографии и решение прикладных задач по радиационной безопасности методом Монте-Карло

Ковчур, А. С.; Минченкова, О. В.; Леонтьев, А. В.

ISSN 2522-1647

dc.contributor.author	Ковчур, А. С.
dc.contributor.author	Минченкова, О. В.
dc.contributor.author	Леонтьев, А. В.
dc.date.accessioned	2019-01-15T13:19:03Z
dc.date.available	2019-01-15T13:19:03Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.citation	Ковчур, А. С. Оптимизация условий электронно-лучевой литографии и решение прикладных задач по радиационной безопасности методом Монте-Карло / А. С. Ковчур, О. В. Минченкова, А. В. Леонтьев // Ресурсо-и энергосберегающие технологии промышленного производства : материалы международной научно-технической конференции, Витебск, ноябрь, 2003 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ". - Витебск, 2003. - Ч. 2. - С. 174-179.	ru-RU
dc.identifier.issn		ru-RU
dc.identifier.uri	http://rep.vstu.by/handle/123456789/10031
dc.description	методы решения
dc.description	радиационная безопасность
dc.description	электронно-лучевая литография
dc.description	оптимизация условий
dc.description	метод Монте-Карло
dc.description	условия литографии
dc.description	задачи по радиационной безопасности
dc.description	прикладные задачи
dc.description	решение задач
dc.description.abstract
dc.format.mimetype	application/pdf	ru-RU
dc.language.iso	rus	ru-RU
dc.publisher	Витебский государственный технологический университет	ru-RU
dc.source	Ресурсо-и энергосберегающие технологии промышленного производства : материалы международной научно-технической конференции, Витебск, ноябрь, 2003 г. : в 2 ч. / УО "ВГТУ"	ru-RU
dc.title	Оптимизация условий электронно-лучевой литографии и решение прикладных задач по радиационной безопасности методом Монте-Карло	ru-RU
dc.type	Article	ru-RU